Los baños de cobre ácidos se utilizan principalmente para la deposición de cobre en obleas de semiconductores. Pequeñas cantidades de cloruro aumentan la velocidad de deposición y reducen la polarización del ánodo. Sin embargo, las concentraciones más altas no son deseables, ya que esto disminuirá la calidad de la deposición de cobre. Por lo tanto, es muy importante controlar la cantidad de cloruro para tener un proceso de deposición de cobre efectivo y de alta calidad.
En esta Application Note se presenta una solución totalmente automatizada basada en la titulación. En comparación con la cromatografía iónica, la titulación ofrece la ventaja de que no es necesario diluir la muestra, y de que el hardware resulta económico, en comparación. Además, la solución totalmente automatizada permite a los usuarios minimizar los errores de manipulación, reducir la carga de trabajo y garantizar una excelente reproducibilidad.
El método se demuestra para un baño de cobre ácido. No se requiere una preparación específica de la muestra.
Este análisis se lleva a cabo en un sistema automatizado que consta de un 814 Sample Processor y un 905 Titrando equipado con un iAg-Titrode con Ag2revestimiento S.
A una cantidad razonable de muestra, se agregan 5 mL de ácido nítrico para acidificar la muestra. Luego, se agrega agua desionizada para cubrir la membrana de vidrio y el anillo de plata del electrodo, y la muestra se titula con nitrato de plata estandarizado hasta después del punto de equivalencia.
El análisis demuestra un resultado aceptable y curvas de titulación bien definidas. La muestra analizada contenía 49,17 mg/L de cloruro con una desviación estándar relativa de 0,31% (n = 10). Un ejemplo de curva de titulación se muestra en Figura 2.
La titulación es un método preciso y confiable para determinar el contenido de cloruro en baños de cobre ácido.
El uso del 814 Sample Processor permite una determinación completamente automatizada, liberando un tiempo valioso del operador y aumentando así la productividad en el laboratorio. Además, al automatizar completamente el análisis, se puede aumentar la reproducibilidad y se pueden reducir las fallas en el análisis de muestras debido a un manejo inadecuado.
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