Análisis automatizado de mezclas de ácidos de grabado para sustratos de silicio con valoración termométrica
AB-344
es
Este boletín trata de la determinación automatizada de mezclas de HNO3, HF y H2SiF6 en el rango de aproximadamente 200-600 g/L de HNO3, 50-160 g/L de HF, y 0-185 g/L de H2SiF6 usando titulación termométrica.Las mezclas de ácidos de grabado que contienen HNO3, HF y H2SiF6 del grabado de sustratos de silicio pueden analizarse en una secuencia de dos determinaciones usando el 859 Titrotherm. La primera determinación implica una titulación directa con el estándar c(NaOH) = 2 mol/L, seguida de una titulación en retroceso con c(HCl) = 2 mol/L. Esta determinación da el contenido de H2SiF6 más un valor para el contenido combinado (HNO3+HF). La segunda determinación consiste en una valoración con c(Al3+) = 0,5 mol/L para determinar el contenido de HF. Para mezclas recién preparadas de HNO3 y HF que no contengan H2SiF6, se emplea una secuencia enlazada de dos titulaciones. Los resultados de las dos determinaciones se utilizan mediante tiamoTM para obtener resultados individuales de HNO3, HF y H2SiF6.
Este Boletín de Aplicación describe la determinación automatizada de mezclas de HNO3, HF y H2SiF6 en el rango de aproximadamente 200-600 g/L de HNO3, 50-160 g/L de HF y 0-185 g/L de H2SiF6 utilizando valoración termométrica. Las mezclas de ácidos de grabado que contienen HNO3, HF y H2SiF6 procedentes del grabado de sustratos de silicio pueden analizarse en una secuencia de dos determinaciones. La primera determinación implica una valoración directa con el estándar c(NaOH) = 2 mol/L, seguida de una valoración en retroceso con c(HCl) = 2 mol/L. Esta determinación proporciona el contenido de H2SiF6 más un valor para el contenido combinado (HNO3 + HF). La segunda determinación consiste en una valoración con c(Al3+) = 0,5 mol/L para determinar el contenido de HF. El contenido de HNO3 puede calcularse entonces a partir de los resultados.
Para mezclas recién preparadas de HNO3 y HF que no contengan H2SiF6, puede utilizarse una secuencia enlazada de dos titulaciones. En la primera titulación, se determina el contenido combinado de HNO3 + HF con c(NaOH) = 2 mol/L. Esta valoración se detiene automáticamente y se inicia una segunda valoración con c(Al3+) = 0,5 mol/L para determinar el contenido de HF. El contenido de HNO3 puede calcularse a partir de los resultados.