Le traitement de surface tel que l'électroplacage est l'un des processus industriels les plus importants pour concevoir des produits ayant des propriétés physiques, chimiques et électroniques spécifiques. La pureté et la composition des solutés, des solvants, des catalyseurs et des bains électrolytiques sont des conditions essentielles pour obtenir les propriétés souhaitées et prévenir les dommages et l'infériorité des produits dus à des déséquilibres ou à des contaminations. Les impuretés, même à un niveau ultratraces, peuvent avoir des effets néfastes, par exemple sur les propriétés électriques des circuits intégrés et des produits finaux dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est pourquoi Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) stipule pour de nombreux produits chimiques de base et matières premières des niveaux d'impureté de l'ordre de quelques µg/l. La chromatographie ionique (IC) est la méthode idéale pour analyser les impuretés ioniques, même dans la gamme des ng/L.  

Les impuretés comme le fluorure, le chlorure, le bromure, le nitrite, le nitrate, le phosphate ou le sulfate peuvent altérer les propriétés d'un bain. En conséquence, les propriétés de placage sont altérées, voire le semi-conducteur endommagé. Les produits chimiques et les matières premières utilisés pour les solutions de traitement, comme les solutions de gravure, de placage ou de nettoyage, doivent être pratiquement exempts de ces impuretés ioniques. L'IC, combiné à l'élimination de la matrice en ligne et à la préconcentration en ligne, est idéal pour déterminer ces impuretés même dans les ultratraces.

L'élimination de la matrice en ligne élimine les composants de la matrice non chargés ou de charge opposée (par exemple, le peroxyde d'hydrogène), ce qui réduit la préparation des échantillons et améliore la durée de vie de la colonne. Une combinaison supplémentaire avec la préconcentration intelligente en ligne augmente la sensibilité de mesure, permettant l'analyse d'impuretés dans la gamme des ng/l.

Exemples d'applications :

• Analyse des traces d'anions et de cations dans l'eau ultra-pure
• Analyse des traces d'anions dans les acides
• Chlorure et sulfate dans l'hydroxyde de tétraméthylammonium (TMAH)
• Impuretés anioniques dans le peroxyde d'hydrogène ou les solvants organiques tels que l'isopropanol.

La robustesse de la technique permet de traiter presque toutes les solutions de traitement, telles que les solutions de gravure, d'extraction ou de rinçage.

Préconcentration variable en ligne avec élimination de la matrice pour l'analyse des anions traces (MiPCT-ME)

Traces de chlorure et de sulfate dans un bain de développement

Traces d'anions dans l'hydroxyde de tétraméthylammonium (TMAOH)

Détermination de la triméthylamine et des cations étalons dans du peroxyde d'hydrogène à 30 % (H2O2)

Détermination du pyrophosphate et des anions standard dans le peroxyde d'hydrogène à 30% (H2O2)

Brochure: Metrohm Inline Sample Preparation (8.940.5002, PDF, 4.35 MB)

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