O acabamento superficial, como a galvanoplastia, é um dos processos industriais mais importantes para projetar produtos com propriedades físicas, químicas e eletrônicas dedicadas. A pureza e a composição dos solutos, solventes, catalisadores e banhos eletrolíticos são requisitos fundamentais para atingir as propriedades desejadas, evitar danos e inferioridade dos produtos por desequilíbrios ou contaminações. As impurezas, mesmo a nível de ultratraços, podem ter efeitos prejudiciais, por exemplo, nas propriedades eléctricas dos circuitos integrados e dos produtos finais na indústria de semicondutores. Portanto, a Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) estipula para muitos produtos químicos básicos e níveis de impureza de matérias-primas na faixa baixa de µg/L. A cromatografia iônica (CI) é o método ideal para analisar impurezas iônicas, mesmo na faixa de ng/L.

Impurezas como flúor, cloreto, brometo, nitrito, nitrato, fosfato ou sulfato podem alterar as propriedades de um banho. Consequentemente, as propriedades de revestimento são prejudicadas ou o semicondutor é mesmo danificado. Os produtos químicos e matérias-primas utilizados para soluções de processo, como soluções de ataque químico, galvanização ou limpeza, precisam estar virtualmente livres de tais impurezas iônicas. IC, combinado com Eliminação de Matriz Inline e Pré-concentração Inline, é ideal para determinar tais impurezas mesmo em ultratraços.

A eliminação de matriz em linha remove componentes da matriz sem carga ou com carga oposta (por exemplo, peróxido de hidrogênio), reduzindo assim a preparação da amostra e melhorando a vida útil da coluna. A combinação adicional com a Pré-concentração Inline inteligente aumenta a sensibilidade da medição, permitindo a análise de impurezas na faixa de ng/L.

Exemplos de aplicações incluem:

• Análise de traços de ânions e cátions em água ultrapura
• Análise de traços de ânions em ácidos
• Cloreto e sulfato em hidróxido de tetrametilamônio (TMAH)
• Impurezas aniônicas em peróxido de hidrogênio ou solventes orgânicos como isopropanol

A robustez da técnica permite lidar com quase todas as soluções de processo, como soluções de ataque químico, extração ou enxágue.

Pré-concentração em linha variável, incluindo eliminação de matriz para análise de traços de ânions (MiPCT-ME)

Traços de ânions em hidróxido de tetrametilamônio (TMAOH)

Determinação de trimetilamina e cátions padrão em peróxido de hidrogênio a 30% (H₂Ó₂)

Determinação de pirofosfato e ânions padrão em peróxido de hidrogênio a 30% (H₂Ó₂)

Folheto: Preparação de amostras em linha da Metrohm (8.940.5002, PDF, 4,35 MB)

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