Les bains de cuivre acides sont principalement utilisés pour le dépôt de cuivre sur les tranches de semi-conducteurs. De petites quantités de chlorure augmentent la vitesse de dépôt et réduisent la polarisation de l'anode. Cependant, des concentrations plus élevées ne sont pas souhaitables, car elles diminuent la qualité du dépôt de cuivre. Il est donc très important de contrôler la quantité de chlorure pour obtenir un processus de dépôt de cuivre efficace et de haute qualité.
Cette note d'application présente une solution entièrement automatisée basée sur le titrage. Par rapport à la chromatographie ionique, le titrage présente l'avantage de ne pas nécessiter de dilution de l'échantillon et le matériel est comparativement peu coûteux. En outre, la solution entièrement automatisée permet aux utilisateurs de minimiser les erreurs de manipulation, de réduire la charge de travail et de garantir une reproductibilité exceptionnelle.
La méthode est démontrée pour un bain de cuivre acide. Aucune préparation spécifique de l'échantillon n'est nécessaire.
Cette analyse est effectuée sur un système automatisé composé d'un Sample Processor 814 et d'un Titrando 905 équipé d'une iAg-Titrode avec revêtement Ag2S.
À une quantité raisonnable d'échantillon, on ajoute 5 ml d'acide nitrique pour acidifier l'échantillon. Ensuite, de l'eau désionisée est ajoutée pour couvrir la membrane de verre et l'anneau d'argent de l'électrode, et l'échantillon est titré avec un réactif de titrage normalisé à base de nitrate d'argent jusqu'à ce que le point d'équivalence soit atteint.
L'analyse montre un résultat acceptable et des courbes de titrage bien définies. L'échantillon analysé contenait 49,17 mg/L de chlorure avec un écart-type relatif de 0,31 % (n = 10). Un exemple de courbe de titrage est présenté à la figure 2.
Le titrage est une méthode précise et fiable pour déterminer la teneur en chlorure dans les bains de cuivre acides.
L'utilisation du processeur d'échantillons 814 permet une détermination entièrement automatisée, libérant le temps précieux de l'opérateur et augmentant ainsi la productivité du laboratoire. En outre, l'automatisation complète de l'analyse permet d'augmenter la reproductibilité et de réduire les échecs d'analyse des échantillons dus à une mauvaise manipulation.
Partager l'application
Télécharger le PDF
Internal reference: AW TI CH1-1130-022013